臺積電(TSMC)半導體設備氣動隔振器主要的功能之一是避震，而這個功能的實現(xiàn)取決于扭簧內(nèi)部結(jié)構(gòu)外部構(gòu)造的形態(tài)以及所使用的材料。因此，在設計這個產(chǎn)品時，需要將材料的性能融入結(jié)構(gòu)變化中，其配方設計也是至關重要的一個環(huán)節(jié)。
在臺積電(TSMC)半導體設備氣動隔振器材料配方設計中，關鍵的判斷是操縱重要材料的性能，其次是明確提出橡膠材料的結(jié)構(gòu)力學性能，研究每個元件的應變力所引起的裁切應變力以及整個變形構(gòu)造體的變形轉(zhuǎn)變。材料的穩(wěn)定拉伸應力代表著氣動隔振器的應力和應變特點。因此，相對穩(wěn)定的拉伸應力被用作材料的機器性能指標。碳黑被用作提高橡膠材料的張力，并降低熱值。拉伸應力的降低可減少穩(wěn)定負載中的動態(tài)變形和形變。
盡管常用生橡膠的種類不同，但臺積電(TSMC)半導體設備氣動隔振器每個元件的粘結(jié)層的拉應力都需要有效分布。氣動隔振器的氣囊硫化是一個至關重要的全過程，因此，在制定全部配方時，需要根據(jù)每一層橡膠的升溫情況明確正硫化時間，并盡可能保持長的硫化曲線圖。橡膠材料的硫化水平對于氣動隔振器的整體性能也非常重要，因此應該將這一因素考慮進去。
通常，臺積電(TSMC)半導體設備氣動隔振器每個橡膠層的溫度都會被準確測量，將半成品加工等溫過程的熱歷史時間轉(zhuǎn)換為硫化時間或等效電路硫化時間，以明確半成品加工的反硫化標準和實際每個橡膠層的硫化水平是否匹配。
如果橡膠被部分硫化，將會導致更高的發(fā)熱量以及橡膠層之間的粘合力增強。如果硫含量過高，橡膠材料的性能就會下降，對氣動隔振器產(chǎn)品的質(zhì)量構(gòu)成危害。此外，由于氣動隔振器的形態(tài)、規(guī)格和用途均不同，因此每個橡膠層的秘方也有所不同。
