空氣彈簧生產(chǎn)工藝介紹

小型化是MEMS商品的一個(gè)突顯特性。伴隨著微系統(tǒng)技術(shù)性的發(fā)展趨勢(shì)，一些MEMS元器件的規(guī)格早已進(jìn)到亞微米級(jí)。這種小型元器件早已超過了傳統(tǒng)式的生產(chǎn)加工技術(shù)性可以進(jìn)行。因而，對(duì)于這種元器件開發(fā)設(shè)計(jì)了一系列生產(chǎn)加工技術(shù)性，即MEMS技術(shù)性或微系統(tǒng)生產(chǎn)加工技術(shù)性。

現(xiàn)階段業(yè)內(nèi)應(yīng)用的MEMS微生產(chǎn)加工技術(shù)性包含：體硅微生產(chǎn)加工（Bulk）、表層微生產(chǎn)加工（）、LIGA加工工藝（光刻技術(shù)、電鑄和成形）。三種加工工藝方式中的每一種都是有其優(yōu)勢(shì)和局限。

1、體硅微生產(chǎn)加工

體硅微機(jī)械加工制造是根據(jù)對(duì)襯底開展各種各樣或各向異性離子注入，在硅襯底上生產(chǎn)制造各種各樣機(jī)械系統(tǒng)元器件的技術(shù)性。其優(yōu)點(diǎn)是機(jī)器設(shè)備簡(jiǎn)易，項(xiàng)目投資少，但只有生產(chǎn)制造樣子簡(jiǎn)易、縱橫比小的元器件。它是根據(jù)蝕刻加工光伏材料得到的，耗費(fèi)很多的光伏材料（有時(shí)候稱之為減成加工工藝），而且只有應(yīng)用光伏材料做為生產(chǎn)加工目標(biāo)。

2、表層微生產(chǎn)加工技術(shù)性

表層微生產(chǎn)加工關(guān)鍵依賴在基材上逐級(jí)加上原材料空氣彈簧生產(chǎn)工藝流程《MEMS解讀》MEMS微生產(chǎn)制造加工工藝詳細(xì)介紹，運(yùn)用表層生長(zhǎng)發(fā)育法和光刻法在表層生產(chǎn)制造各種各樣微機(jī)械系統(tǒng)元器件。在基材的頂表面堆積和蝕刻加工金屬材料、結(jié)晶硅、氮化合物、金屬氧化物、有機(jī)材料等。常見的堆積技術(shù)性有揮發(fā)、磁控濺射、絲印油墨、CVD（有機(jī)化學(xué)液相堆積）、電鍍工藝等，也是有干蝕刻加工和濕蝕刻加工技術(shù)性。其優(yōu)點(diǎn)是根據(jù)在光伏材料中添加各種各樣原材料，產(chǎn)生需要的構(gòu)造，可以生產(chǎn)制造出更繁雜的零件，但技術(shù)性更繁雜，機(jī)器設(shè)備也更價(jià)格昂貴。

3、LIGA微生產(chǎn)加工技術(shù)性

LIGA生產(chǎn)加工是法語光刻技術(shù)、電鍍工藝（也稱電鑄）和壓鑄模具的簡(jiǎn)稱。LIGA技術(shù)性可以生產(chǎn)加工金屬材料、塑膠等非光伏材料，可以生產(chǎn)加工大縱橫比的零件空氣彈簧生產(chǎn)工藝流程，這針對(duì)容積微生產(chǎn)加工和表層微生產(chǎn)加工而言是艱難的。但該加工工藝必須以同步輻射設(shè)備造成的較高能放射線為關(guān)鍵解決方式，機(jī)器設(shè)備價(jià)格昂貴，項(xiàng)目投資大。

先在金屬材料基材鋪上一層PMMA（聚乙酸乙烯酯，有機(jī)玻璃板），隨后在上面放一個(gè)模版，運(yùn)用同歩網(wǎng)絡(luò)加速器設(shè)備造成的較高能放射線對(duì)PMMA開展蝕刻加工，最終產(chǎn)生必須的間隙隨后根據(jù)電氣設(shè)備方式添充內(nèi)腔，隨后除去PMMA以獲取需要的合金傳動(dòng)齒輪。